（来源：上观新闻）
在晶圆🇸🇪制造阶段，等离🇰🇮子刻蚀、化👜学气相沉积等工👩🦱艺均需↙用到氦气；同时，🈲氦气还可🧖♂️用于热量传导与🚱📈晶圆背面冷🧙♀️却，确保光刻等高🇹🇱精度制程🎨的温度全程均🍄匀可控🇵🇷。
中国航海学🈁🆗会科学技术奖是💙经国务院《国🧪👩🍳家科学技🕳🧙♂️术奖励条例》、💊🥽科学技🇫🇯🇨🇾术部《社⏩会力量🛥设立科📋🈳学技术奖管🇨🇭理办法》授权🗣🇵🇭，并由国🇴🇲家科学技术奖励💶🏧办公室以“国科💫奖字第0🅾👿5号”公告批准💈🌲设立的👱♀️科技奖励👂，该奖项是衡量🦗航海领域科技进⛄💐步与产业贡献的权🍥威标尺🇱🇹🌈。
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